一、项目信息
采购人：山东大学
项目名称：山东大学高温高能离子注入机采购
拟采购的货物或服务的说明：离子注入是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术，可改变半导体的载流子浓度和导电类型，且在注入剂量、注入角度、注入深度、横向扩散等方面进行精确的控制。该离子注入设备可实现N、P、Al、B等元素掺杂，注入剂量范围1E11～1E16 ions/cm2，注入不均匀性片内≤±0.5%/片间≤±0.5%，单电荷最高加速电压为400 KeV，束流发散角度≤1.7°（@6英寸）。
拟采购的货物或服务的预算金额：2200万元
采用单一来源采购方式的原因及说明：需离子注入设备提供单价离子加速电压10-400 keV，二价离子可达800 keV 三价离子可达1.2 MeV。最大束流：≥1300 eμA@400 Kev，束流平行度≤±0.3°（@ 6″），注入剂量1E11～1E16 ions/cm2；测试精度：≦±1.0%；注入不均匀性：片内≤±0.5%，片间≤±0.5%。具备成熟的反转静电吸附Stage设计，同一设备可兼具对应高温500℃以上注入工艺和常温注入工艺，工艺切换时间不得大于5分钟；提供能抑制离子束的发散、能进行精细的扫描波形的控制，可得到约10°的大的扫描角的离子注入装置。其他品牌产品不能同时满足单价离子加速电压最高400keV、高低温工艺切换时间不得大于5分钟、10°扫描角的使用技术要求，因此只能采购进口产品。
二、拟定供应商信息
名称：苏州科锐芯机电科技有限公司
地址：苏州吴中经济开发区城南街道东吴南路125号3幢1208室
三、公示期限
2023年6月11日至2023年6月16日（公示期限不得少于5个工作日）
四、其他补充事宜：无
五、联系方式
1.采购人：山东大学
联 系 人：田主任
联系地址：山东大学中心校区明德楼
联系电话：0531-88369797
2.采购代理机构：山东省鲁成招标有限公司
联 系 人： 王青东
联系地址：济南市经十东路10567号成城大厦A座
联系电话：0531-83196323