山东大学招标采购管理中心就全反射X射线荧光光谱仪项目以单一来源方式进行采购。
一、采购机构:山东大学招标采购管理中心
二、项目编号:SDJXHF20220252-Z098
三、项目名称:全反射X射线荧光光谱仪
四、采购人:山东大学
五、采购预算:人民币700万元。
六、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由):
在半导体材料及工艺研究中,全反射X射线荧光光谱仪可用于晶片表面及近表层分析,其极低的检出限、极少的用样量、极高的准确度,能够测量所有晶圆工艺中的晶圆污染,检测元素从Na~U,从而控制外延及器件生产的质量和成品率。
经用户调研,日本Rigaku公司的TXRF 3760能够检测8英寸高达200mm的晶圆、具有专利的XYθ样品台系统、真空晶圆机器人传送系统和扫描软件系统、可提供最大35KV的高压与最大300mA的电流输出,但最大功率输出为9KW、最低侦测极限 (LLD)达到W-Ma Al≦5.0x1011等,成为唯一一款应用于半导体晶圆领域的全反射X射线荧光光谱仪,因此,采取单一来源方式采购。指定代理公司为南京木木西里科技有限公司。
拟定的唯一供应商名称:南京木木西里科技有限公司
七、资格要求:
遵守《中华人民共和国招标投标法》、《中华人民共和国政府采购法》等有关的国家法律、法规和条例,具备本文件中规定的条件:
1)具有独立承担民事责任的能力;
2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度;
3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力;
4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录;
5)参加政府采购活动前三年内,在经营活动中没有重大违法记录;
6)具备法律、行政法规规定的其他条件。
八、报名流程:
登录山东大学招标采购管理中心网站(http://www.cgw.sdu.edu.cn/)进行供应商注册,注册完成我中心审核通过后,在报名截止时间前再次登录系统在线报名本项目,报名审核成功后自助下载采购文件。
九、公示时间:自发布公告起五个工作日。
开标时间:2022年12月15日16:00。
十、联系方式
采购人:山东大学
地址:济南市山大南路27号
联系方式:0531-88363689
联系人:鲁老师
山东大学招标采购管理中心
二〇二二年十二月八日